물품구매 규격서

구입종수

1

구입수량

1

구입단위

대

품명

흄후드

모델명

PLH1, 또는 SH- HD- 1800UP

제품사양

기본사양

상하부로 구성

설치 이전 모두 포함

상부 내부는 솔벤트에 영향을 받지 않는 제질 필수

밖으로 배기가 가능한 형태 설치

상부 door : 5T safety glass

하부 door : still plate

물, N2, air, 밸브 필수

램프 : LED type

콘센트 : 220V, 110V 모두

물품구매 규격서

구입종수

1

구입수량

1

구입단위

대

품명

Digital Spincoater : ACE- 200

모델명

ACE- 200

제품사양

기본사양

Wafer Size(Max.) : ~ 100mm

3,000 RPM /sec (가감속도)

Bowl Material : SUS

Power Input : AC 220V, 50/60Hz

Bowl Size(내경) : SUS 235 m/m

Vacuum Input : - 450~- 650mmHg (6mm ID / 8mm OD)

Step : 100, Memory Storage : 100 Program

Display : LCD (Back Light)

Rotation Speed : 0 to 50 ~ 8000 rpm

System Controller : Digital Type (Microprocessor)

Run Time : 1~999sec

Accuracy : ±1 R.P.M